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多晶硅铸锭炉,提纯炉

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多晶硅铸锭炉,提纯炉

  • 所属分类:高温炉窑

  • 点击次数:
  • 发布日期:2019/06/14
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  • 详细介绍
  • 多晶硅铸锭炉,提纯炉:该装备主要用于多晶硅定向凝固(多晶硅铸锭)实验及制造,也可以用于其他半导体材料提纯。同时可适用于高纯铝提纯用。

      该装备可实现熔炼过程在线进行多种物料加料工艺,并可进行物料烧结时骤冷实验。

    主要技术参数

      熔炼容量:5-30KG

      电源功率:50-100KW

      升温速率:40℃/Min

      炉温均匀性:±5℃

      极限真空度:6.67×10-3Pa

    多晶硅铸锭炉,提纯炉


    多晶硅铸锭炉,提纯炉

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    关键词:多晶硅铸锭炉,提纯炉,多晶硅铸锭炉设备

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